半导体mocvd是什么 半导体mocvd是什么工艺
mocvd哪个方面消耗最大的是滤光片，更换频率与所用滤光片的材质和型号有关。Veeco一台MOCVD设备要多少钱？通用商用MOCVD机(用于生长蓝色LED)目前常用的有美国Veeco公司和德国Axitron公司的产品，1.原料生产:蓝宝石衬底(图形衬底或平面衬底)、有机源(镓源、镁源、铝源等，)、氨气、高纯氮气、高纯氢气2、石墨盘(100多炉换，视工艺而定)、加热系统备件(年手柄没问题可以用)、尾气过滤器(常换)Veeco部分型号的设备有小型气体净化器。
通用商用MOCVD机(用于生长蓝色LED)目前常用的是美国Veeco公司和德国Axitron公司的产品。价格在1000.15万人民币之间(原来2000多万，现在降价)。目前国内一些公司也开始制造大型MOCVD机，价格也在600-1000万之间。以上价格参考大型商用机器，外延片数量每炉50片左右。一般都是从美国的维科和德国的爱思强买的，日本的中国没有。日本只卖国货。
MOCVD设备将II或III族有机金属化合物和IV或V族元素氢化物混合并引入反应室，混合气体流过加热的衬底表面，产生热解反应。与外延技术相比，MOCVD技术的优点在于:(1)化合物半导体材料中使用的各组掺杂剂都是以气态引入反应室，外延层组、掺杂浓度、厚度等。用于薄层和超薄层材料(2)反应室内的气体流速较快，需要快速改变元素化合物组的掺杂浓度，从而可以降低记忆效应，获得能量，使得陡界面适用于异质结构超晶格。测量井材料(3)晶体热解反应式对于单温区外延，需要控制反应源气流温度分布的均匀性，以保证外延材料适合晶片外延的均匀性，便于工业批量生产(4)一般情况下，晶体速率和III族源流量的调节范围更宽更快， 其适于批量生产(5)必须能够选择用于MOCVD的合适的原材料，包含该元素材料用于选择作为反应源(6)这是由金属-机械化合物的性质决定的。 当真空度较低时，反应室的结构相对简单。(7)随着检测技术的发展，MOCVD工艺用于bit监测。实际上，与MOCVDMBE技术相比，所制备的外延结构的器件的性能没有差别。MOCVD技术吸引通用性，需要能够选择合适的金属机器。
3、veeco,mocvd有什么方面的耗材滤镜使用频率最高，更换频率与所用滤镜的材质和型号有关。1.原料生产:蓝宝石衬底(图形衬底或平面衬底)、有机源(镓源、镁源、铝源等，)、氨气、高纯氮气、高纯氢气2、石墨盘(100多炉换，视工艺而定)、加热系统备件(年手柄没问题可以用)、尾气过滤器(常换)Veeco部分型号的设备有小型气体净化器。
